Fuente de iones para espectrómetro de masas IG20

Una fuente de iones de argón u oxígeno de 5 keV para aplicaciones de análisis de superficies UHV La IG20 cuenta con una fuente de iones de gas de impacto de electrones de alto brillo que está diseñada específicamente para la capacidad de oxígeno, pero también es adecuada para su uso con gases inertes y otros gases. Capas finas Recubrimiento óptico Materiales electrónicos Materiales nucleares El IG20 está diseñado como haz de iones primario para aplicaciones SIMS, Auger y XPS para la obtención de imágenes y perfiles de profundidad; sin embargo, el barrido de trama generado internamente y la amplia gama de parámetros de funcionamiento lo hacen adecuado para la limpieza de muestras y los experimentos de ciencia de superficies. Los filamentos dobles conmutables por el usuario garantizan un funcionamiento continuo en caso de que se funda el filamento, que puede sustituirse a conveniencia del usuario. Haz de iones intenso con un tamaño de punto de 100 µm y energías de 0,5 - 5 keV Alta densidad de corriente, hasta 4,5 mA/cm2 Fuente de iones de impacto electrónico con capacidad para argón y oxígeno Óptica de dirección para dispersión lineal y rasterización del haz en perfiles de profundidad desplazamiento de 3° en la columna del cañón de iones para un rechazo óptimo de los neutrales Función de supresión del haz para cambiar rápidamente de haz en aplicaciones de rasterización Bombeo diferencial de la fuente para reducir la carga de gas de la cámara Conjunto de filamento doble fácilmente sustituible Velocidades de barrido de hasta 64 µs Funcionamiento integrado con las sondas SIM y EQS para un control directo de la velocidad y el área de barrido