Sonda de Langmuir ESPion

de potencial plasmáticopara espectrómetroautomática

Una sonda Langmuir avanzada para el diagnóstico del plasma La monitorización rutinaria de la característica I-V del plasma mediante la sonda Hiden ESPion proporciona información directa relativa a la estabilidad y reproducibilidad del plasma. La extrapolación automática en tiempo real de los parámetros del plasma proporciona información detallada sobre las propiedades del plasma para su uso en la caracterización y el control de la uniformidad. Caracterización del plasma Grabado con plasma y ALE HiPIMS Recubrimiento de carbono tipo diamante (DLC) Recubrimientos por deposición láser pulsada (PLD) Deposición por magnetrón DC de películas de SiBCN El sistema ESPion emplea Orbital Motion Limited (OML) y Allen Boyd Reynolds (ABR) como modelos estándar de análisis de plasma. El accionamiento Z automático de Hiden proporciona mediciones espacialmente resueltas en todo el volumen de plasma. Las opciones estándar de traslación del Z-drive son: 300, 600 y 900 mm. velocidad de adquisición de 15 barridos por segundo con interfaz D-O-E para análisis automáticos, semiautomáticos o manuales Hiden es pionero en la compensación pasiva de RF ESPion tiene la impedancia de bloqueo más alta de todas las unidades disponibles en el mercado 4.25MOhm a 13,56 MHz frente a 100kOhm Cadena multiinductora refrigerada por gas para funcionamiento con plasma a alta temperatura La cadena multiinductora refrigerada por gas puede ser sustituida por el usuario para sintonizar otras frecuencias La sonda de referencia compensa los efectos de baja frecuencia p. ej. desplazamiento del potencial de plasma (p. ej. paredes anodizadas de la cámara) o ruido (p. ej. fuente de alimentación) ESPion las especificaciones de plasma pulsado más rápidas de cualquier sonda comercial ESPionSoft contiene de serie todos los circuitos de compuerta necesarios opciones de accionamiento lineal automático de 300, 600 o 915 mm Válvula de aislamiento con enclavamiento, sondas de 90°, accionamientos combinados lineales y rotativos disponibles Ciclo de autolimpieza para limitar la contaminación de la punta de la sonda