En este sistema único, las columnas Ga-FIB y FE-SEM se encuentran en ángulo recto entre sí. Esta configuración es ideal para aplicaciones en las que deben analizarse grandes volúmenes (tejidos biológicos, materiales con grandes estructuras de grano, componentes semiconductores, etc.) en 3D sin distorsiones y con la máxima resolución, incluso con campos de visión muy amplios. el análisis EBSD 3D también puede realizarse con una muestra completamente estacionaria, es decir, sin movimiento de la muestra entre el corte FIB y el análisis de capas EBSD.
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