Sistema de preparación de muestras automático ArBlade 5000 / IM5000-CTC

para SEMfresado con haz de ionesde refrigeración

ArBlade 5000 / IM5000 amplía las capacidades de corte transversal de la serie IM4000 II con la opción de ampliar los cortes transversales hasta una anchura de 10 mm, en función de las necesidades reales. Para ello, la muestra se desplaza lateralmente de forma periódica durante el corte transversal en el área de procesamiento previamente registrada mientras permanece en el enfoque óptimo. Opcionalmente, también es posible el procesamiento secuencial de varias posiciones individuales; el portamuestras múltiple opcional permite el procesamiento automático de hasta 3 muestras. El ArBlade 5000 / IM5000 está equipado con una pistola de iones más potente con una velocidad de eliminación de más de 1 mm por hora. Con el ArBlade 5000-CTC también son posibles criosecciones de anchura variable a temperaturas de proceso definibles de hasta -100 °C. Características del producto: - Pistola de iones tipo Penning única, robusta y de fácil mantenimiento, con control independiente de la corriente del haz y de la tensión de aceleración. Permite haces de iones intensivos a todos los voltajes de aceleración (0-8kV) - Las anchuras de la sección transversal pueden seleccionarse de forma flexible moviendo periódicamente la muestra con respecto al haz de iones, desde 1 mm hasta 10 mm de anchura - La profundidad del proceso de sección transversal en Si con una protuberancia de 100µm por encima de la máscara, oscilación de la platina +/-30°, es de 1000µm por hora o más - El pulido de la superficie puede realizarse en ángulos de inclinación de 0° a 90°, el ángulo puede cambiarse durante el proceso