Sistema de haz de iones focalizados NX5000

La plataforma FIB-SEM "ETHOS" NX5000 está destinada a aplicaciones avanzadas de precisión de posición en las áreas de producción automatizada de láminas TEM ultrafinas para TEM/STEM con corrección de aberraciones, examen SEM multiseñal de alta resolución de secciones de muestras en serie y aplicaciones de fabricación. Características del producto: - FE-SEM de alta resolución con emisor de campo frío o Schottky y doble lente de objetivo electrostática-magnética: modo de inmersión magnética para imágenes de alta resolución, modo sin campo magnético para funcionamiento simultáneo con FIB - Columna FIB Ga+ con corriente iónica de hasta 100 nA y buenas propiedades de bajo kV para cortes FIB rápidos y superficies laminares TEM de bajo daño - Gran cámara de muestras con platina de muestras de 155x155 mm2 y numerosos puntos de acceso para accesorios opcionales. Esclusa para muestras de 150 mm de diámetro y posibilidad de transferencia de gas inerte ("protección del aire") - Sistema detector con 3 detectores en columna (2x retrodispersión, 1x SE) y detector SE de cámara. Las 4 señales pueden registrarse y visualizarse simultáneamente