Sistema de preparación de muestras automático IM4000II

para SEMfresado con haz de ionesde refrigeración

La IM4000II admite tanto el fresado de secciones transversales como el fresado plano para preparar muestras en función de la finalidad. El control de la temperatura de refrigeración, la unidad de soporte de protección del aire y varias opciones permiten la preparación de diversas muestras de sección transversal. Alta velocidad de fresado La velocidad de fresado transversal*1 de la IM4000II es de 500 µm/h o superior. Es eficaz para materiales duros que convencionalmente requieren un procesamiento prolongado. Cuando cambia el ángulo de giro durante el fresado transversal, cambian la anchura y la profundidad de procesamiento correspondientes. La siguiente figura muestra las imágenes SEM de una oblea de Si tras el fresado transversal. Las condiciones de procesamiento son las mismas que las mostradas anteriormente, excepto que el ángulo de giro se ha reducido de ±30˚ a ±15˚. Se demuestra que la profundidad de procesamiento es mayor que en los resultados anteriores y, por tanto, muy eficaz para la preparación rápida de secciones transversales de muestras con una estructura objetivo alejada de la superficie superior. Fresado híbrido Fresado transversal Se puede conseguir una superficie prístina pulverizando (fresando) las partes salientes de la muestra que se extienden más allá del borde de la máscara. Al irradiar el haz de iones en paralelo a la superficie procesada de la muestra, es posible obtener un fresado plano y liso incluso con materiales complejos de diferentes composiciones.