Sistema de alineación para oblea HPA series

mecánicode alta precisión

El alineador de obleas HPA alinea de forma fiable obleas transparentes, translúcidas y opacas. Tanto si se utiliza el proceso estándar, de alabeo o de contacto de bordes, los nuevos modelos alinean obleas con un diámetro de 2 pulgadas hasta 12 pulgadas en sólo unos segundos. Para el centrado y la alineación angular de las obleas se utilizan tres ejes móviles HIWIN con accionamiento por husillo. Dependiendo del modelo de alineador, se utiliza una unidad X-Y o una unidad X-Z. Gracias a su diseño compacto, la serie HPA también es ideal para la integración en conceptos de sistema exigentes. Ideal para aplicaciones en la industria de semiconductores, el alineador de obleas de la serie HPA es apto para salas blancas de clase ISO 3.