Oblea Hobbite® (Oblea Corning Eagle XG)
Hobbite puede ser proporcionado a Corning Eagle XG Wafer,
Las capacidades dependen del material y del tamaño del sustrato, las capacidades reales para obleas específicas están disponibles a pedido.
Medición de Atributos
DiameterΦ2″、Φ3″、Φ4″、Φ5″、Φ6″、Φ8″、Φ12″″
Grosor0.2mm、0.3mm、0.4mm、0.4mm、0.5mm、0.7mm、1.0mm、1.5mm tolerancia±0.02mm)
Tolerancia dimensional+/- 0,02
Tolerancia de espesor+/- 5μm
Variación de espesor (TTV) < 0.01mm
Planitud 1/10 Onda/pulgada
Rugosidad de la superficie (RMS) <1.5nm
Rascar y cavar 5/2
Tamaño de partícula <5μm
Arco/Warp<10μm
A continuación se describe la versatilidad de varios de nuestros procesos clave. Para más detalles sobre el proceso, por favor, póngase en contacto con nosotros para obtener más información.
PROCESO DE FABRICACIÓN DE OBLEAS
Corte de la forma
Las láminas finas se trazan, las gruesas se rocían con agua y los bloques se cortan con hilo para comenzar el proceso con una oblea "en blanco".
Borde CNC
Cada oblea se cantea individualmente en una estación de rectificado de bordes de precisión CNC.
Lapeado
Según se requiera, las obleas se lapean hasta obtener un espesor o planitud precisos.
Pulido
El pulidor comercial de doble cara elimina los daños en el subsuelo y el Super Pulidor crea un acabado impecable.
Limpieza
Combinamos ultrasonidos y megasonidos en múltiples líneas de limpieza que desembocan directamente en una sala limpia de clase 100.
Inspección
En nuestra Sala Limpia Óptica Clase 100, inspeccionamos a varios niveles de calidad bajo las condiciones de iluminación apropiadas.
Embalaje
Todas las obleas se envasan en contenedores pre-limpiados, en doble bolsa y selladas al vacío dentro de la Sala Limpia Clase 100.
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