Descripción
La serie de GA-360E/F360E es una formación de las unidades que proporcionan el control sensible, altamente exacto, continuo ultraalto de las cantidades de rastro de impurezas contenidas en los gases (N2, O2, él, AR, H2, y aire) usados en el proceso de fabricación del semiconductor. Utilizando un método de la cruz-modulación, las unidades de la serie GA-360E/F360 no tienen ninguna deriva cero debido al análisis simultáneo del gas de puesta a cero y de la comparación de tiempo ordinaria y ofrecen valores de largo plazo, estables de la medida. Un estante de 19 pulgadas hace para la mejora fácil de los sistemas. Los analizadores de la serie GA-360E/F360 están bien adaptados para el uso en las instalaciones de producción del gas del semiconductor.
Literatura del producto de la serie de GA-360E
Características
Las unidades se equipan de una función máxima del dos-componente dentro de la capacidad del análisis del uno-componente para el CO, el CO2, y el CH4 y son capaces del indicador digital simultáneo de las concentraciones de dos componentes.
Las unidades utilizan un método de la cruz-modulación y no tienen ninguna deriva cero, de tal modo abastecimiento de largo plazo, valores estables, continuos de la exhibición.
La eliminación de la necesidad del ajuste de la óptica hace para el mantenimiento fácil.
Una función del autocontrol para el volumen de flujo (presión), el motor del interruptor (electroválvula), la alarma antiincendios accidental (GA-360E), y los sistemas de alarma eléctricos de la fuente provee de usuarios alarmas rápidas a cualquier irregularidad.
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