Elipsómetro espectroscópico UVISEL 2 VUV

El VUV de UVISEL 2 es una generación del ne de ellipsometer de la modulación de fase para la medida del VUV. Es el ellipsometer espectroscópico principal disponible, prepuesto transportar las medidas más rápidas de la película fina sobre la gama de longitud de onda más grande, de 147 a 2100 nanómetro. El VUV de UVISEL 2 es a medias un ellipsometer, ajuste para trabajar en 2 modos, bajo el nitrógeno o vacío esencial. Su esquema mecánico se mejora para la utilización baja del nitrógeno abajo a 6l/min, y considera el cargamento rápido de la muestra. La opción de ocho tamaños de punto es perfecta para la medida mínima del área y una cámara puntualmente disponible en frente hace la muestra que carga extremadamente conveniente. Incorpora las fuentes dobles de la vitalidad del poder más elevado, la alta óptica de la producción, un modulador flexible de la fotografía Caf2 y dos monocromadores avanzados. El VUV de UVISEL 2 da alta sensibilidad en las longitudes de onda del VUV.