Ampliar la compatibilidad con los productos químicos y contribuir a una mayor tasa de rendimiento en la fabricación de semiconductores
HORIBA Advanced Techno, Co., Ltd. desarrolló y comenzó a vender el HD-960LR, un nuevo monitor de oxígeno disuelto para los fabricantes de semiconductores y equipos de fabricación de semiconductores, el 1 de julio de 2021.
La reciente miniaturización y el mayor rendimiento de los semiconductores está diversificando los productos químicos utilizados en el proceso de fabricación de semiconductores, cada uno de los cuales requiere una gestión adecuada. Este nuevo monitor de oxígeno disuelto controla continuamente el contenido de oxígeno disuelto de los productos químicos con gran precisión en el proceso de fabricación de semiconductores. La adición de un nuevo mecanismo de sensor interno puede suprimir la degradación del electrolito e incluso amplía la compatibilidad con el agua amoniacal y disolventes orgánicos específicos. Además, la adopción de este nuevo mecanismo ha hecho realidad el ciclo de sustitución del sensor de primera clase de la industria, de aproximadamente un año. El HD-960LR prolonga la vida útil del sensor aproximadamente 1,3 veces para el agua ultrapura y 70 veces para el agua amoniacal en comparación con nuestros productos convencionales. Un intervalo más largo entre las sustituciones del sensor ayuda a impulsar la eficiencia operativa.
El Grupo HORIBA seguirá respondiendo a las amplias necesidades de los clientes para contribuir a una mayor tasa de rendimiento en la fabricación de semiconductores.
Incluso los contaminantes de nivel nanométrico en el proceso de fabricación de semiconductores tienen el potencial de causar fallos en los mismos.
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