Regulador de caudal másico térmico SEC-Z500X series

para gasdigitalanalógico

Este es el modelo más vendido de HORIBA para controladores digitales de caudal másico. Dispone de funciones multirrango/multigas que permiten a los usuarios cambiar el tipo de gas o el caudal a escala completa in situ de forma rápida y sencilla. Con una alta precisión +/- 1,0% S.P, válvula de actuador piezoeléctrico, respuesta de alta velocidad y siendo totalmente metálico, este controlador de caudal másico es adecuado para la mejora del rendimiento del proceso y la gestión simplificada de piezas. Dispone de comunicaciones digitales/analógicas, DeviceNet™ y EtherCAT®. Alta precisión ±1,0% P.S. La linealidad de este controlador de caudal másico se compensa mediante una curva aproximada polinómica y consigue una alta precisión para todos los rangos de control de caudal. Con el propósito de avanzar en la precisión real del gas, los datos de calibración de varios gases de proceso son medidos por el sistema de medición de gas estándar de HORIBA STEC. Respuesta de alta velocidad Instalado con el "Sistema PID Variable", que puede alcanzar 1 segundo de respuesta entre dos puntos de ajuste cualesquiera. El PID variable cambia continuamente en función del ajuste del punto de caudal. Esto permite optimizar el factor PID cuando cambian el caudal y los gases a escala real. Solución Multi-Gas/Multi-Rango El software de configuración permite cambiar las especificaciones de forma rápida y sencilla. Una característica clave es que los cambios pueden realizarse sin retirar el controlador de caudal másico del panel de gas o de las tuberías. Esto reduce el número de controladores de caudal másico de repuesto necesarios, con el consiguiente ahorro de tiempo y dinero. El controlador de caudal másico SEC-Z500X es adecuado para diversas aplicaciones, así como para la fabricación de semiconductores.