Este sistema de inyección mixta puede vaporizar rápidamente una amplia variedad de fuentes líquidas utilizando el método de vaporización de mezcla gas-líquido. Este método permite la vaporización estable de líquidos de alto punto de ebullición.
Características
El método de vaporización de mezcla gas-líquido permite la vaporización estable de líquidos de alto punto de ebullición
Su diseño compacto permite una fácil integración
La eficiencia de vaporización es mayor que con los métodos de vaporización tradicionales
Se pueden generar caudales mayores
Se puede reducir la temperatura de vaporización
Técnicas de medición
Método de inyección
A continuación se describen los principales pasos necesarios para vaporizar una fuente líquida y suministrarla a la cámara de proceso.
1. Se mide el caudal de la fuente líquida y se retroalimenta la cantidad de líquido controlada por la válvula.
2. El líquido se vaporiza instantánea y completamente.
3. El gas se libera sin permitir que se condense de nuevo en su forma líquida.
Dado que la presión del gas portador es mayor delante de la boquilla dentro del inyector, puede calentarse de forma eficiente. La fuente líquida y el gas portador calentado se mezclan en la zona de mezcla de gas/líquido situada delante de la tobera, a medida que esta mezcla pasa a través de la tobera la presión se reduce haciendo que la mezcla se vaporice.
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