Caudalímetro másico térmico D500 series

de presión diferencialmásicopara gas

Este vanguardista módulo de flujo másico insensible a la presión se instala con detección de presión diferencial y una válvula actuadora piezoeléctrica. El alto nivel de rendimiento proporcionado por el CRITERION D500 garantiza que pueda utilizarse para una amplia gama de procesos avanzados de fabricación de semiconductores; insensible a la presión, multirrango/multigas/multipresión, función de autodiagnóstico G-LIFE (comprobación de la ley de gases de la ecuación de restricción de flujo integrada), alta precisión, respuesta rápida, amplio rango y totalmente metálico. Rendimiento insensible a la presión Una nueva función Pressure Insensitive de alto rendimiento proporciona un sistema de suministro de gas simplificado Solución multirrango, multigas y multipresión Las nuevas funciones permiten al usuario cambiar el tipo de gas, el caudal a escala completa y el rango de presión de suministro Función de autodiagnóstico G-LIFE (comprobación de la ley de gases de la ecuación de restricción de flujo integrada) La función avanzada de supervisión del estado del proceso permite a los operarios realizar sus propias pruebas, normalmente en tres segundos o menos, para mejorar el rendimiento Alta precisión La precisión del caudal de gas de proceso se ha mejorado con un ajuste tridimensional avanzado Respuesta rápida Respuesta < 0,8 segundos Se puede lograr un control de caudal preciso y estable Rango dinámico Amplio rango de control: 0.2% F.S. a 100% F.S. "Recientemente, con el aumento de la aplicación de un dispositivo semiconductor según IoT, las últimas fábricas de semiconductores se centran en minimizar el tiempo de inactividad del aparato. Por lo tanto, con el propósito de la pre-detección de fallos de las herramientas de semiconductores y sus componentes, los parámetros gestionados del proceso de semiconductores se incrementan, y su especificación es cada vez más estricta.