Evaporador térmico LSC

de procesopara líquido

El sistema de horneado más vendido de HORIBA se ha desarrollado para satisfacer los requisitos de las industrias de alta tecnología actuales. Sin necesidad de un gas portador, el sistema puede proporcionar una vaporización estable de materiales como TEOS (a una velocidad de 600 SCCM) y H2O (a una velocidad de 2 SLM). Para facilitar el acceso, todo el mantenimiento del dispositivo puede realizarse desde la parte frontal de la unidad. Características Gasificación de alto caudal El LSC-A100 proporciona una gasificación estable de materiales como TEOS 600SCCM y H2O 2SLM Todo el mantenimiento del dispositivo puede realizarse en la parte frontal de la unidad Se puede utilizar una PDA tipo PocketPC opcional para supervisar las condiciones de funcionamiento del LSC y para registrar y analizar los registros de funcionamiento.