Controlador de presión de gas GR-300
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Características
- Aplicaciones
- de gas
Descripción
La serie GR-300 puede controlar los gases utilizados para enfriar la cara posterior de las obleas fijadas en posición mediante un sistema de mandril electrostático.
La estabilidad y precisión del GR-300 lo hacen ideal para controlar el flujo de Helio y Argón en sistemas de refrigeración de obleas.
Control de presión con mayor estabilidad y precisión
Sensor de caudal másico (opcional)
Compatible con varios accesorios
Conformidad con RoHS
En el ejemplo siguiente, la serie GR-300 controla los gases utilizados para enfriar la cara posterior de las obleas que se fijan en posición mediante un sistema de mandril electrostático.
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Catálogos
GR-300 Series
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* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.