Equipo de detección de gas IR-400

El IR-400 ofrece supervisión en tiempo real del punto final de limpieza de la cámara durante el proceso de deposición. Al optimizar el proceso de limpieza, el IR-400 reduce el tiempo de limpieza y el uso de gas. Esta reducción del uso de gas de limpieza conlleva una reducción de los daños en la cámara y aumenta la vida útil de todos los componentes del sistema. Monitorización multigas (compatible con SiF4 yCF4) (IR-422) Alta sensibilidad Función de calentamiento de la célula de gas hasta 180 dec.C Pantalla múltiple Comunicación analógica/digital. Ventajas de la monitorización del punto final en tiempo real con el IR-400 Reduce el tiempo de limpieza de la cámara Reduce el uso de gases de limpieza Proceso de limpieza repetible y predecible Mayor vida útil de los componentes de la cámara Fiabilidad y alto rendimiento Absorciometría infrarroja no dispersiva (NDIR) El método de absorciometría infrarroja empleado por la serie IR-300 utiliza el principio de la absorción por las moléculas de gas de la luz infrarroja emitida por una fuente de luz infrarroja. La salida de una muestra que ha absorbido el gas que se está midiendo se compara con una salida de referencia sin absorbancia, y el resultado se convierte en una concentración de gas. El uso de este método de doble haz permite obtener resultados de medición estables a largo plazo. El sistema óptico se compone de una fuente de luz, una célula de gas y detectores de doble haz. La estabilidad del detector de doble haz ha quedado demostrada a lo largo de más de 40 años.