Caudalímetro másico térmico D700MG

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Los procesos críticos de fabricación de semiconductores requieren continuamente dispositivos de control de flujo de gas de precisión que permitan tanto la innovación futura como la transición del laboratorio a la fábrica de dispositivos lógicos y de memoria de vanguardia. HORIBA propone el nuevo MFC D700MG basado en presión, el modelo superior compatible del D500MG para responder a los retos de los clientes. Características Cambio de configuración de gas y escala completa en la herramienta *Sólo EtherCAT Proporciona flexibilidad para la optimización de procesos respuesta Step-up de 100 ms y control de desviación de MFC a MFC Proporcionan alta productividad y mayor rendimiento del proceso Funcionalidad MRMG para caudales pequeños (Bin101 - Bin105) Proporciona flexibilidad a los procesos que requieren un caudal pequeño Mejor cierre de válvula y resistencia a la corrosión gracias a la boquilla de PFA Robustez con menor riesgo de partículas reduce el tiempo de inactividad y optimiza el rendimiento Función de monitor de estado Proporciona más datos internos para una predicción de fallos más inteligente Elementos de salida de la función de supervisión de estado Recuentos de ajuste a cero de caudal/presión Recuentos de accionamiento de válvula Registro de presión max/min P0,P1,P2 Registro de la temperatura máx./min. del bloque Tiempo total por encima/por debajo de la presión espec. Tiempo total por encima/por debajo de la temperatura espec. Tiempo total de trabajo Tiempo total de control Tiempo total de flujo (por instancia de calibración) Caudal total (por instancia de calibración)