Repartidor por caudal másico térmico FS-3000

FS-3000 combina el controlador de flujo másico (MFC) de HORIBA STEC y MuCube (controlador maestro). Al controlar el MFC desde el MuCube equipado con el algoritmo de control propietario de HORIBA STEC, el FS-3000 consigue un control de división estable. El algoritmo de control realiza un control estable de la división del caudal mediante el control de las relaciones de caudal, al tiempo que controla la presión de la corriente superior del FS-3000 utilizando la tecnología de optimización de control original de HORIBA STEC. Además, incluso cuando se alteran las relaciones de división, el algoritmo de control consigue una respuesta de alta velocidad a la división del caudal. Mejora la capacidad de expansión y el rendimiento de mantenimiento El FS-3000 admite la división de hasta 15 canales de caudal mediante el procesamiento de señales de alta velocidad. Cuando falla el MFC, el FS-3000 puede repararse simplemente sustituyendo el esclavo averiado. Respuesta flexible a las especificaciones requeridas FS-3000 admite una amplia gama de gases, incluidos los gases mixtos. Además, FS-3000 soporta RS-485, DeviceNet como interfaces de usuario.