Regulador de caudal másico GR-511F

para gas

El GR-511F puede controlar los gases utilizados para enfriar la cara posterior de las obleas fijadas en posición mediante un sistema de mandril electrostático. La estabilidad y precisión del GR-511F lo hacen ideal para controlar el flujo de Helio y Argón en sistemas de refrigeración de obleas. CARACTERÍSTICAS Control de presión con mayor estabilidad y precisión Sensor de caudal másico (opcional) Compatible con varios racores Conformidad con RoHS Ejemplo de aplicación En el ejemplo siguiente, el GR-511F controla los gases utilizados para enfriar la cara posterior de las obleas que se fijan en posición mediante un sistema de mandril electrostático. tipo de válvula - C: Normalmente cerrada Integridad de fuga - ≤ 7 × 10-11 Pa-m3 /s (He) Presión máxima de funcionamiento - 300 kPa (A) Resistencia a la presión - 350 kPa (A) Temperatura de funcionamiento - 5-50 °C (Precisión garantizada temp : 15-40 °C) Alimentación - +15 VCC±5 %, 250 mA -15 VCC±5 %, 250 mA Consumo de energía - 7,5 VA Interfaz - Analógica Gas *1 - He, Ar, N2 Conexiones estándar - 1/4 pulgada VCR o equivalente Presión a fondo de escala - 1,333 kPa (A) (10 Torr), 2,666 kPa (A) (20 Torr), 6.666 kPa (A) (50 Torr) Rango de control de presión - 1-100 %F.S. Precisión de la presión *2 - ±0,5 %R.S. Coeficiente de temperatura de cero - ±0,04 %E.F./°C Coeficiente de temperatura de referencia - ±0,04 %ES./°C Respuesta *3 - ≤ 1 seg Señal de ajuste de la presión - 0,1-10 VDC (1-100 %F.S.) Impedancia de entrada ≥ 1 MΩ Opción:0,05-5 VDC (1-100 %F.S.) Impedancia de entrada≥ 1 MΩ Señal de salida de presión - 0-10 VDC (0-100 %F.S.) Resistencia mínima 2 kΩ Opción:0-5 VDC (0-100 %F.S.) Resistencia mínima 2 kΩ