Sistema de detección de partículas PD Xpadion

Plataforma de inspección de nueva generación para satisfacer las necesidades futuras PD-Xpadion es la última generación de la línea de productos de inspección de partículas de HORIBA. Basada en un innovador diseño de plataforma modular, PD Xpadion es la herramienta adecuada para satisfacer las necesidades actuales y futuras de inspección de máscaras y partículas en los procesos de producción de litografía y máscaras. La automatización de la fábrica, combinada con un conjunto de tecnologías centrales de HORIBA, permite a los usuarios ampliar el sistema PD Xpadion para incluir no sólo la inspección y detección de partículas, sino también la caracterización de partículas mediante análisis Raman, el espesor y la uniformidad de la película pelicular y herramientas de supervisión de la salud de las partículas. Características Sensibilidad de detección ajustable mediante la utilización de una combinación de sistemas ópticos Adaptación OHT, EFEM, multipuerto y multirranura Capacidad de volver a analizar los datos de inspección para una optimización más rápida de la receta de inspección Opciones de integración con otros productos de sensores HORIBA como la espectroscopia Raman y la elipsometría Función de reducción de falsas detecciones Software innovador con facilidad de uso mejorada