Caudalímetro másico térmico D700uF

para gasde PFA

D700uF(Micro Flow) está diseñado para ≤ 5SCCM aplicación de flujo. el control de flujo ≤ 5SCCM ha sido muy crítico en procesos de alta relación de aspecto Los componentes especializados y el nuevo estándar de bajo flujo desarrollado internamente permiten un control de flujo de alta precisión de hasta 0,025SCCM. Capacidad de control de caudal de hasta 0,025SCCM Control preciso del gas de sintonización, mejora la sintonizabilidad del proceso ≤ Respuesta escalonada de 100 ms y control de desviación de MFC a MFC Ofrece una alta productividad y un mayor rendimiento del proceso Metrología de flujo interna Rendimiento fiable de todos los productos fabricados Función de monitor de estado Proporciona más datos internos para una predicción de fallos más inteligente Mejor cierre de válvulas y resistencia a la corrosión gracias a la boquilla de PFA La robustez con menos riesgo de partículas reduce el tiempo de inactividad y optimiza el rendimiento