D700T es el módulo de caudal másico insensible a la presión de mejor rendimiento diseñado para procesos críticos de fabricación de semiconductores. El D700T adapta la tecnología de medición y control de flujo basada en la presión HORIBA CRITERION para proporcionar un rendimiento repetible y preciso líder en la industria. Además, la singularidad de D700T es la utilización de un algoritmo de control de flujo avanzado patentado con estructura de doble válvula que permite al sistema de suministro de gas del cliente resolver múltiples desafíos.
≤ 100 mseg de tiempo de estabilización rápida en toda la gama (Set to Set, Step up y Step down)
Rendimiento insensible a la presión de entrada y salida
Detección avanzada de fallos para diagnosticar el desplazamiento del sensor de presión, la fuga en el asiento de la válvula y el cambio en la precisión del caudal
Repetibilidad dentro de 0,15 %S.P
La mejor especificación de precisión es dentro de 0,45 %S.P.* (Estándar: 0,8 %S.P.)
Rango de temperatura de funcionamiento más amplio (15-60 °C)
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