Sistema de supervisión químico CS-1000

de concentraciónde medición

El CS-1000 avanza en los procesos de fabricación de semiconductores al permitir la medición simultánea de tres parámetros en soluciones químicas que contienen componentes de baja concentración. HORIBA Advanced Techno, Co., Ltd. ltd. (en adelante "HORIBA Advanced Techno") ha lanzado su nuevo sistema de monitorización de soluciones químicas CS-1000. La serie CS de analizadores, que mide en tiempo real la concentración de los productos químicos utilizados en los procesos de fabricación de semiconductores, ha satisfecho las necesidades de la industria durante casi 30 años desde su lanzamiento en 1995. El CS-1000, un sistema autónomo con prestaciones mejoradas, permite detectar sustancias químicas específicas presentes en soluciones químicas en cantidades traza (nivel de ppm*1) sin ningún tratamiento previo, gracias a un algoritmo único (pendiente de patente*2) que combina el análisis de la absorbancia,*3 la conductividad y el pH. Al permitir mediciones simultáneas de tres parámetros -concentración (hasta ocho componentes químicos), conductividad y pH- con un ciclo de actualización tan corto como seis segundos,*4 el CS-1000 contribuye al avance del control de calidad. Dado que sólo requiere aproximadamente cuatro horas*5 de mantenimiento cada seis meses, el CS-1000 también ayuda a reducir el tiempo de inactividad. Además, el CS-1000 admite la medición simultánea de dos soluciones químicas diferentes, lo que contribuye a aumentar la productividad. Con la miniaturización de los semiconductores, los productos químicos utilizados para fabricarlos son cada vez más diversos, como los que contienen muchos componentes o trazas de componentes. Esto requiere un estricto control de calidad que abarque múltiples parámetros