Sistema de metrología para obleas MESO™

para semiconductores

Solución de metrología MESO El sistema de metrología MESO es una solución integral para muchos retos de la metrología óptica. Las mediciones en taller garantizan las pruebas de control de calidad y el control de procesos in situ de sus ópticas planas justo al lado de la línea de fabricación. Un instrumento único permite medir en varias longitudes de onda diferentes sin aberraciones cromáticas y caracterizar toda la gama de sus ópticas sin pérdida de resolución. MESO™ está repleto de innovaciones: - Alta resolución de detección de frente de onda mejorada por LIFT - POP-procedimiento pendiente de patente para la comprobación de ópticas paralelas planas (delgadas) - La tecnología patentada Spot Tracker™ proporciona una medición absoluta de la inclinación y el frente de onda. CARACTERÍSTICAS PRINCIPALES Insensible a las vibraciones Pruebas en la longitud de onda de diseño Insensible a los reflejos de la superficie posterior de la muestra APLICACIONES MESO es la herramienta de ensayo perfecta para el control de: Ópticas paralelas Pantallas Filtros, dicroicos Espejos Divisores de haz Ventanas Sustratos Cubos de esquina Cristales Varillas, discos Obleas de vidrio Pantallas Superficies mecanizadas Parabrisas Prismas Grandes lentes Sistemas ópticos Expansores de haz eSPECIFICACIONES CLAVE del sistema de metrología MESO Integración horizontal o vertical Zoom óptico de 1,5'' (38,1mm) hasta 6'' (152mm) Longitud de onda de ensayo de 405 nm a 820 nm resolución de 680 x 500 puntos de fase tiempo de adquisición mínimo de 27us ESPECIFICACIONES CLAVE Interfaz de control con pantalla táctil Procedimientos de ensayo guiados por guión que guían al usuario a través de todos los pasos Control automatizado de hasta 4 longitudes de onda incrustadas Control automatizado del diámetro de la prueba Informe de ensayo automatizado completo Cumplimiento de la norma ISO10110 Exportación de datos multiformato