Analizador con sensor único Semion

para reactor de plasmade procesode campo retardador

El Semion Single Sensor es un Analizador de Energía de Campo Retardante (RFEA). Se coloca en cualquier lugar dentro de un reactor de plasma y mide la energía de los iones que golpean una superficie utilizando un solo sensor de medición. Este analizador de campo retardado (RFA) es un diagnóstico de plasma fundamental para medir la función de distribución de energía iónica y también mide el flujo de iones, los iones negativos, la temperatura y el voltaje de polarización (Vdc). El sistema Semion permite la monitorización in situ de procesos, la confirmación de modelos, el desarrollo de nuevos procesos y aplicaciones de investigación en tiempo real en la ubicación del sustrato. El Semion, a veces llamado analizador de potencial de retardo, mide la energía iónica y produce la función de distribución de energía iónica (IEDF), el flujo iónico, los iones negativos, la temperatura y Vdc en la posición del sustrato dentro de un reactor de plasma. El analizador de energía de campo con retardo Semion (RFEA) se utiliza ampliamente en muchos sectores de la industria y la investigación, como el grabado por plasma, los recubrimientos, la pulverización por plasma, el PECVD y el haz de iones. El Semion Single Sensor es un instrumento de diagnóstico de plasma clave que puede confirmar modelos, ayudar al desarrollo de nuevos procesos y experimentos que utilizan plasma, diseño de herramientas de plasma e investigación de plasma. El analizador de energía de campo con retardo Semion Single Sensor consiste en un sensor de botón reemplazable montado en un soporte de sensor que se conecta a un alimentador de vacío que es alimentado por una unidad electrónica montada en rack de 19".