Instrumento de caracterización con sensor único Vertex

de plasmade distribución de energía iónica

El sensor Vertex Single mide la distribución de energía iónica en función de la relación de aspecto que golpea una superficie dentro de un reactor de plasma. Este instrumento único de caracterización del plasma también puede medir la energía iónica, el flujo iónico y la tensión de polarización. El ángulo de los iones que golpean el fondo de una característica puede determinarse a partir de la distribución de la energía iónica en función de la relación de aspecto, lo que permite a los usuarios controlar la calidad del perfil de grabado en un lugar determinado del reactor de plasma. El sensor Vertex Single mide la distribución de energía iónica en función de la relación de aspecto, la energía iónica, el flujo iónico, los iones negativos y el Vcc en una superficie dentro de un plasma. El sensor Vertex Single Sensor se utiliza cada vez más en muchas aplicaciones en la industria y la investigación, como el grabado por plasma, los haces de iones y la pulverización de plasma para la caracterización del plasma y el análisis de interacción del plasma. El sensor Vertex Single Sensor ahorra al usuario un valioso tiempo en la confirmación de modelos, el desarrollo de nuevos procesos y en experimentos que utilizan plasma, diseño de herramientas de plasma e investigación de plasma. El sensor Vertex Single Sensor está alojado en una unidad electrónica montada en rack de 19", alimentada por vacío, y un soporte para el sensor ubicado en cualquier lugar dentro de una cámara de plasma o de haz. La ubicación puede ser incluso un electrodo alimentado por RF o DC y puede usar un sensor Button Probe reemplazable. La unidad electrónica se conecta a un ordenador portátil o a un PC y utiliza el paquete de software Vertex intelligent. El sensor Vertex Single Sensor tiene una serie de opciones de soportes que van desde 50 mm hasta 450 mm y dependerá de la aplicación del usuario. Los usuarios pueden seleccionar un sensor de 50 mm y moverlo físicamente para medirlo en diferentes ubicaciones de la cámara.