Instrumento de caracterización multisensor Vertex

de plasmade distribución de energía iónica

El Multi Sensor Vertex mide la distribución de energía iónica en función de la relación de aspecto que golpea una superficie dentro de un reactor de plasma desde múltiples ubicaciones para analizar la uniformidad de las interacciones iónicas a través de un sustrato. La uniformidad de la energía iónica, el flujo iónico y la tensión de polarización también se mide desde múltiples ubicaciones. El ángulo de los iones que golpean el fondo de una característica puede determinarse a partir de la distribución de la energía iónica en función de la relación de aspecto que puede medirse a través de un sustrato para controlar la uniformidad y, por lo tanto, la calidad del perfil de grabado de un lado del sustrato al otro. El Multi Sensor Vertex mide la uniformidad de la distribución de energía iónica en función de la relación de aspecto. La uniformidad de la energía iónica, la uniformidad del flujo iónico, la uniformidad negativa del ión y el voltaje de polarización en una superficie dentro de un plasma son proporcionados. El Vertex Multi Sensor se utiliza cada vez más en muchas aplicaciones de la industria y la investigación en las que el perfil de la característica es de interés, como el grabado por plasma para sustratos más grandes, haces de iones y pulverización por chorro de plasma. El Vertex Multi Sensor ayuda a los usuarios a confirmar modelos, desarrollar nuevos procesos y experimentos que utilizan plasma y requieren un proceso uniforme, diseño de herramientas de plasma, caracterización de plasma e investigación. El Vertex Multi Sensor está alojado en una unidad electrónica montada en rack de 19", alimentada por vacío, y un soporte para el sensor ubicado en cualquier lugar dentro de una cámara de plasma o de haz. La ubicación puede ser incluso un electrodo alimentado por RF o DC y puede usar un sensor Button Probe reemplazable. La unidad electrónica se conecta a un ordenador portátil o a un PC y utiliza el paquete de software Vertex intelligent.