Sistema de medición de ratio Quantum

iones/neutrospara reactor de plasma

La microbalanza cuadriculada resuelta energía del cristal de cuarzo de Quantum es un instrumento único para medir el ratio de iones a los neutrales que golpean una superficie dentro de un reactor del plasma, a veces llamó el ion fracción neutral. Este instrumento del filo también mide la tarifa de deposición, la energía del ion, el flujo del ion y el voltaje de polarización. El ratio entre los neutrales y los iones que llegan una superficie, sea en polarización negativa o puesto a tierra es mensurable ahora por este sistema innovador. El solo sensor de Quantum mide la fracción neutral del ion o la fracción de la ionización del flujo que llega una superficie dentro de un reactor del plasma. También mide la tarifa de deposición, la energía del ion, el flujo del ion y el voltaje de polarización en cualquier ubicación dentro de un reactor del plasma. El solo sensor de Quantum o la microbalanza cuadriculada del cristal de cuarzo es ampliamente utilizada en muchos sectores a través de la industria y de la investigación, tal como deposición del plasma, capas, farfulla del plasma, haz de PECVD, de la aguafuerte y de ion. El solo sensor de Quantum proporciona la fracción de la ionización del flujo, una medida que sea vital en la mayoría de los usos del plasma pero ha sido hasta ahora muy duro de alcanzar. Los ratios de la ionización encuentran usos en la investigación de recetas de los nuevos procesos, el confirmar nuevas y de modelos y se pueden utilizar en el desarrollo de nuevas herramientas y de procesos del plasma.