Sonda de Langmuir Plato

de densidad plasmática

La sonda de Platón es una sonda Langmuir plana diseñada para trabajar en plasmas de deposición cuando se deposita una película aislante en la superficie de la sonda. Esta sonda Langmuir tolerante a la deposición puede permanecer dentro de un reactor de plasma mientras se utilizan gases aislantes agresivos. La sonda de Platón mide parámetros del plasma como la densidad del plasma, la densidad de la corriente iónica y la temperatura de los electrones en plasmas con altas tasas de deposición, como la deposición química en fase vapor mejorada por plasma (PEVCD). Durante muchos años ha sido difícil medir los parámetros del plasma en ambientes de alta deposición. Impedans ha desarrollado una tecnología innovadora que mide los parámetros del plasma, incluso cuando se deposita una capa aislante gruesa en la superficie de la sonda. La sonda de Platón es una sonda Langmuir plana para plasma de deposición cuando se deposita una película aislante en la superficie de la sonda. La sonda Plato es la primera sonda Langmuir del mercado que puede operar en plasmas con altas tasas de deposición. Una característica única de la sonda de Platón es su capacidad para medir con precisión los parámetros clave del plasma a través de una capa depositada de varios micrones de espesor. La deposición de las capas aislantes no afecta a la precisión de la medición de la sonda. La sonda de Platón es un instrumento único que permite a los científicos medir la densidad plasmática y la temperatura de los electrones del plasma, incluido el plasma de deposición. La sonda de Platón proporciona medición de parámetros de plasma en DC, RF, microondas, plasma continuo y pulsado.