Sonda de Langmuir Plato Spatial

de densidad plasmática

Plato Spatial Probe es un ensayo de Langmuir para el plasma de la deposición. Explora a través del bulto de un plasma para medir la uniformidad de los parámetros del plasma en las ubicaciones diferentes. Se diseña para trabajar en plasmas de la deposición incluso cuando una capa de aislamiento se deposita en la superficie de la punta de prueba. Los parámetros del plasma de las medidas de Plato Probe tales como densidad del plasma, densidad corriente del ion y temperatura del electrón en las ubicaciones diferentes a través del plasma incluso cuando el plasma tiene una alta tarifa de deposición. Es posible ahora medir la uniformidad de los parámetros del plasma en un plasma que deposita una capa de aislamiento. Plato Spatial Probe viene completo con un sistema de impulsión linear automatizado que mida los parámetros principales del plasma en las ubicaciones diferentes dentro de un reactor del plasma. Plato Spatial Probe es el primer ensayo de Langmuir en el mercado que puede actuar en un plasma con altas tarifas de deposición y dominante a su éxito es su capacidad de medir exactamente los parámetros dominantes del plasma con una capa de aislamiento varios micrones densamente. La deposición de las capas de aislamiento no afecta a la exactitud de la caracterización del plasma de la punta de prueba.