El sistema de sondas Octiv VI es un sistema de medición en línea de tensión, corriente y ángulo de fase de RF. Puede medir una sola frecuencia fundamental y sus armónicos con una precisión del 1% y una resolución de tiempo. Cada sistema tiene un menú desplegable con una selección de 5 frecuencias fundamentales para elegir.
Mide voltaje, corriente, ángulo de fase, impedancia y armónicos y las mediciones se pueden ver desde un PC o directamente en la unidad de medida.
El sistema de sonda Octiv VI permite a los usuarios elegir una sola frecuencia fundamental de un menú desplegable de cinco y extraer toda la información armónica de cada uno de los parámetros medidos.
El Octiv VI Probe es un sensor de impedancia de una sola frecuencia que normalmente se coloca después de la unidad de cerilla. Se utiliza para medir la impedancia de carga en aplicaciones tales como procesos de plasma. Monitorea el voltaje, la corriente y la fase de una sola frecuencia fundamental y sus armónicos. La sonda Octiv VI Probe es ideal para monitorizar con precisión sistemas de plasma individuales.
El Octiv VI está calibrado a cinco frecuencias fundamentales: 2MHz | 13.56MHz | 27.12MHz | 40.68MHz | 60MHz y tiene un rango de potencia de 0 a 12 kW.
---