La Octiv Poly VI Probe es un sistema multifrecuencia de medición de tensión, corriente y fase en línea de RF. Puede medir múltiples frecuencias fundamentales y sus armónicos simultáneamente y tiene una precisión del 1% con una resolución de tiempo de 1μs La sonda VI puede detectar y medir hasta 5 frecuencias fundamentales y todos sus componentes (tensión, corriente, ángulo de fase y armónicos) al mismo tiempo.
La sonda VI mide tensión, corriente, fase, impedancia y armónicos y las mediciones se pueden visualizar desde un PC o directamente en la unidad de medida.
El sistema Octiv Poly permite a los usuarios medir una serie de frecuencias fundamentales y extraer toda la información armónica de cada parámetro medido simultáneamente.
La sonda Octiv Poly VI es un sensor de precisión de potencia e impedancia que normalmente se coloca en la unidad después del partido. Se utiliza para medir la impedancia de carga en aplicaciones tales como procesos de plasma. Monitorea el voltaje, la corriente y la fase de múltiples frecuencias fundamentales y sus armónicos. La sonda Octiv Poly VI Probe es ideal para monitorizar con precisión sistemas de plasma de doble y triple frecuencia.
El Octiv Poly tiene un rango de potencia de 0 a 12kW y está calibrado en 5 frecuencias diferentes: 2MHz | 13.56MHz | 27.12MHz | 40.68MHz | 60MHz. El sistema es ágil en frecuencia y puede detectar otras bandas de frecuencia.
El Octiv Poly es un sensor de alta precisión y resolución y una unidad de adquisición de datos de alta velocidad combinados. El Octiv Poly es el único sensor de precisión de potencia e impedancia con micro-segunda resolución en aplicaciones pulsantes. El Octiv Poly utiliza la exclusiva tecnología de sonda VI patentada, diseñada para un funcionamiento fiable en aplicaciones multifrecuencia simultáneas con una sintonía de frecuencia ágil.
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