Espectrómetro Moduli | RF Spectrometer

Moduli | Espectrómetro RF Detección de fallas no invasivas y monitoreo de la salud de la cámara El espectrómetro de RF es un detector de radiofrecuencia (RF) que monitorea directamente el estado eléctrico de un plasma desde fuera de la cámara de plasma. Está diseñado para la detección de fallos en herramientas de producción sin necesidad de un sensor en línea en la trayectoria de RF. Se ha demostrado que detecta fugas de aire, desplazamiento de obleas y otras fallas graves de plasma. El espectrómetro de RF es un detector de radiofrecuencia (RF) que monitorea directamente el estado eléctrico de un plasma desde fuera de la cámara de plasma. Está diseñado para la detección de fallos en herramientas de producción sin necesidad de un sensor en línea en la trayectoria de RF. Se ha demostrado que detecta fugas de aire, desplazamiento de obleas y otras fallas graves de plasma.