Platina de posicionamiento XY XYR-65-10X10-AUT-ACR-65AUTrotativalineal con servomotorde manipulación de obleas
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Características
- Orientación
- XY, rotativo
- Tipo
- lineal con servomotor
- Otras características
- de manipulación de obleas
- Carrera
10 mm
(0,394 in)- Velocidad
200 mm/s
Descripción
XY-Etapas rotativas con motores lineales y motores de par directo diseñados con un perfil bajo para el manejo de obleas y muchas otras aplicaciones de posicionamiento preciso automatizado en las industrias de fabricación de semiconductores. El motor lineal de accionamiento XY proporciona un posicionamiento XY submicrónico y la etapa rotativa de accionamiento directo asegura un rendimiento inferior al del secuestro
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