Todas las piezas en contacto con los medios están fabricadas en plástico fluorado y presentan una excelente resistencia al calor y las sustancias químicas agresivas. Los líquidos altamente corrosivos se transportan de modo seguro con una escasa emisión de partículas.
Sistema con sensor de accionamiento
El sistema con sensor de accionamiento abre/cierra el imán con un sensor de posición final. Funcionamiento fiable y comportamiento estable incluso con un número de carreras reducido.
Para el procesamiento Single Wafer le ofrecemos el modelo FA-2E, una "versión lateral" para cantidades de bombeo más pequeñas, equipada con un sistema de pulverización. Con el modelo FA-40VEW, una versión vertical para grandes cantidades de bombeo, es posible limpiar Wafer de 200/300 mm.
Excelente resistencia a las presiones altas gracias a los fuelles gruesos con forma de H (FA-40VEW), que garantizan una larga vida útil con un funcionamiento ininterrumpido.
Si se conecta un controlador especial, la supervisión y el control de la cantidad de bombeo se simplifican de modo considerable.