Dispensador de accionamiento neumático - El más adecuado para el proceso de fabricación de semiconductores para aplicaciones de fotorresistencia.
Características de la serie SB
Alta precisión
El dosificador de la serie SB dosifica con precisión fluidos químicos como la fotorresistencia. El volumen por disparo es muy preciso para garantizar que se aplica la cantidad óptima de fotorresistente. El uso de un sistema de aspiración opcional evita el goteo de la boquilla de inyección y prácticamente no hay volumen muerto en el fuelle, por lo que se minimiza la posibilidad de estancamiento de la solución.
El diseño del cilindro sin juntas y ultralento permite una dosificación de fotorresistencia a baja velocidad con menos probabilidad de aire atrapado.
Extremos húmedos inoxidables/fluorados
Los extremos húmedos de acero inoxidable (SUS304) y flúor (PTFE/PFA) están disponibles para diferentes líquidos y garantizan una buena resistencia a la corrosión y un suministro sin contaminación. Los más adecuados para el suministro de fotorresistencia de alta resolución/pureza.
Diseño ligero y compacto
La bomba puede montarse tanto en vertical como en horizontal (excepto SB-4K/-5/-6), lo que permite la mejor configuración del sistema, y es lo suficientemente compacta como para caber en un espacio de instalación limitado.
También están disponibles opcionalmente un tapón mecánico que ajusta con precisión el volumen de dosificación y un detector de posición que asegura el movimiento correcto del pistón en el cilindro.
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