El diseño del RC2® se basa en 25 años de experiencia. Combina las mejores características de los modelos anteriores con una tecnología nueva e innovadora: compensadores rotativos dobles, diseño de compensador acromático, fuente de luz avanzada y diseño de espectrómetro de última generación. El RC2 es una solución casi universal para las diversas aplicaciones de la elipsometría espectroscópica.
Capacidades de medición avanzadas
El RC2 es el primer elipsómetro espectroscópico comercial que recoge los 16 elementos de la matriz de Mueller. La matriz Mueller SE permite la caracterización de las muestras y nanoestructuras más avanzadas.
La mejor precisión de medición
Las capacidades de medición avanzadas permiten la mejor precisión de la elipsometría rápida basada en CCD.
Compensadores de doble rotación
La rotación sincronizada de dos compensadores proporciona alta precisión, alta velocidad y mediciones completas de la matriz de Mueller.
Diseño de compensador acromático*
Nuevo diseño de compensador acromático con un rendimiento optimizado en una amplia gama espectral. *patente pendiente
Amplia gama espectral
Recoge más de 1000 longitudes de onda, desde el ultravioleta hasta el infrarrojo cercano, todas ellas simultáneamente.
Rápida velocidad de medición
El funcionamiento sincrónico de ambos compensadores permite obtener datos muy precisos sin tener que esperar al "promedio de zona" sobre los elementos ópticos. Recoge todo el espectro (más de 1000 longitudes de onda) simultáneamente en una fracción de segundo.
Fuente de luz "dual" avanzada
Fuente de luz dual para un rango espectral ampliado con control informático de la intensidad del haz. Optimiza automáticamente la señal en cualquier muestra (baja o alta reflexión).
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