Elipsómetro espectroscópico theta-SE

El theta-SE es un elipsómetro espectroscópico de botón para caracterizar la uniformidad de las películas finas. Cuenta con una instrumentación de elipsometría avanzada en un paquete compacto a un precio asequible. Totalmente integrado El theta-SE viene equipado con un mapeo de muestras de 300 mm, un haz de medición de puntos pequeños, una rápida alineación de la muestra, una cámara de observación y nuestra última tecnología de elipsómetro de doble rotación. El theta-SE tiene todo lo que necesita para medir la uniformidad espacial del espesor de su película y sus propiedades ópticas. Alta velocidad El rendimiento de las muestras se optimiza mediante el uso de la rápida traslación punto a punto, la alineación de muestras de alta velocidad y la tecnología de elipsómetro de doble rotación para la recopilación continua de datos. Compacto La etapa de rotación Dual-Theta patentada permite realizar un mapeo completo de 300 mm en un instrumento pequeño de sobremesa. La huella del instrumento es sólo un poco más grande que una oblea de 300 mm. Fácil de usar El análisis de datos automatizado y los informes incorporados permiten el funcionamiento mediante un botón y el acceso rápido a los resultados de las mediciones. Asequible El theta-SE ofrece la potencia de la elipsometría espectroscópica y el mapeo de uniformidad de 300 mm a un precio razonable.