El VASE® es un elipsómetro preciso y versátil para la investigación de todo tipo de materiales: semiconductores, dieléctricos, polímeros, metales, multicapas, etc. Combina una gran exactitud y precisión con un amplio rango espectral - hasta 193 a 3200nm. La longitud de onda y el ángulo de incidencia variables permiten capacidades de medición flexibles, incluyendo:
- Elipsometría de reflexión y transmisión
- Elipsometría generalizada (anisotropía, retardancia, birrefringencia)
- Intensidad de reflectancia (R) y transmitancia (T)
- Polarización cruzada R/T
- Despolarización
- Dispersión
- Matriz de Mueller
Máxima precisión de los datos
El VASE cuenta con un elipsómetro analizador rotativo (RAE) combinado con nuestro AutoRetarder® patentado para una precisión de datos sin precedentes.
Selección de longitudes de onda de alta precisión
El monocromador de barrido está diseñado específicamente para la elipsometría espectroscópica. Optimiza la velocidad, la precisión de las longitudes de onda y el rendimiento lumínico, al tiempo que controla automáticamente la selección de las longitudes de onda y la resolución espectral.
Mediciones flexibles
El VASE cuenta con una montura de muestra vertical para acomodar una gran variedad de geometrías de medición, incluyendo reflexión, transmisión y dispersión.
Tecnología AutoRetarder
Los elipsómetros con analizador rotativo (RAE) maximizan la precisión de los datos cerca de la condición "Brewster" - donde los datos Ψ/Δ son ricos en contenido. Sin embargo, esta región puede ser limitante para las muestras con señal reducida. El AutoRetarder patentado es una placa de ondas controlada por ordenador que modifica la polarización del haz de luz antes de que llegue a la muestra. De este modo, se obtienen unas condiciones de medición óptimas para cualquier muestra, en cualquier condición.
El AutoRetarder mide con precisión:
- Ψ y Δ en todo el rango
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