El IR-VASE® es el primer y único elipsómetro espectroscópico que combina la sensibilidad química de la espectroscopia FTIR con la sensibilidad de la elipsometría espectroscópica en películas finas. El IR-VASE cubre el amplio rango espectral de 1,7 a 30 micras (333 a 5900 números de onda). Se utiliza para caracterizar tanto películas delgadas como materiales a granel en la investigación y la industria. Esta tecnología de rápido crecimiento está encontrando usos en las industrias de revestimientos ópticos, semiconductores, biológica y química, así como en los laboratorios de investigación.
Amplia gama espectral
Abarca desde el infrarrojo cercano al lejano.
1.De 7 a 30 micras
(333 a 5900 números de onda)
Resolución de 1cm-1 a 64cm-1
Alta sensibilidad a las películas ultrafinas
Los datos de elipsometría espectroscópica contienen información tanto de "fase" como de "amplitud" de la luz reflejada o transmitida. La información de fase de la elipsometría IR ofrece una mayor sensibilidad a las películas ultrafinas que la reflexión/absorbancia FTIR, conservando la sensibilidad a la composición química.
Caracterización no destructiva
El IR-VASE ofrece mediciones sin contacto y no destructivas de muchas propiedades de materiales diferentes. Las mediciones no requieren vacío y pueden utilizarse para estudiar las interfaces líquido/sólido habituales en las aplicaciones de biología y química.
No se requiere una línea de base ni una muestra de referencia
La elipsometría es una técnica de autorreferencia que no requiere muestras de referencia para mantener la precisión. Se pueden medir muestras más pequeñas que el diámetro del haz porque no es necesario recoger todo el haz.
Medición de alta precisión
Los procedimientos patentados de calibración y adquisición de datos, proporcionan mediciones precisas de Ψ y Δ en todo el rango del instrumento.
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