Visión general
Eje de motor lineal con principio de imán móvil (la unidad de la bobina con el cabezal de medición está fija y la pista magnética mueve la corredera con un sistema de medición)
Para el posicionamiento de la óptica
Demandas
Uso en salas limpias ISO clase 100 - sin abrasión o desgaste de los cables
Uso en operación de 3 turnos en 7 días/semana
Una precisión mecánica muy alta
Estabilidad de la temperatura: 22°C ±2°
Implementación
Un rodamiento lineal de bolas de recirculación común para todos los deslizamientos
El material de la placa base se selecciona según el coeficiente de expansión térmica de la guía
La construcción y las unidades se compensan entre sí - para optimizar la longitud total
Especificación
Aceleración: máxima. 3.000 mm/s
Velocidad: 400 mm/s
Error de altura por diapositiva: ≤1 µm
Error lateral por diapositiva: ≤1 µm
Error de altura máxima de las diapositivas entre sí: 100 µm
Máximo error de balanceo, error de guiñada, error de giro: ≤±100 µrad
Un derrame cerebral: 50 mm (más posible)
Sistema de medición de la resolución: 0,05 µm (50 nm)
Reproducibilidad en la dirección del movimiento: <0,5 µm
---