La iluminación de pupilas multipolares es necesaria para lograr la máxima resolución en los sistemas de proyección de máscaras. Los elementos ópticos difractivos (DOE) de Jenoptik producen eficazmente tales distribuciones con alta precisión y uniformidad tanto dentro como entre los polos individuales.
Utilizamos materiales de alta calidad para todos nuestros elementos difractivos. Esto garantiza una larga vida útil, incluso en caso de irradiación láser UV intensiva.
---