Un sensor para un controlador de espesor de película de oscilador de cristal que incorpora 6 ó 12 cristales
Características
Se utiliza para medir el espesor de la película y la velocidad de generación de película durante el procesamiento de películas finas.
Cuando falla un cristal, el sensor puede utilizarse tal cual cambiando al siguiente cristal.
Dado que la apertura del detector está en una posición fija, no es necesario cambiar el factor de herramienta para cada cambio de cristal.
Existen 2 tipos de cabezales detectores: planos y de 45°. Pueden utilizarse selectivamente en función de la posición de montaje.
Adecuado para procesos de deposición en vacío o sputtering de larga duración y gran volumen.
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