Genera plasma térmico a unos 10000 grados mediante inducción de alta frecuencia a través de un proceso de reacción físico/química, lo que permite la síntesis de nanopartículas y la síntesis de películas gruesas (formación de películas)
Características
Principios・Características
El plasma térmico de radiofrecuencia funciona a presión atmosférica, o en un entorno de baja presión cercano a la presión atmosférica, concentrando la potencia de alta frecuencia en un lugar específico para generar espontáneamente un plasma de aproximadamente 10.000 grados a partir de diversos gases mediante inducción electromagnética.
Este plasma térmico es una zona de la descarga de arco. Introduciendo materiales (polvos, gases, fluidos) en el plasma es posible inducir vaporización, fusión, disociación y reacciones químicas para aplicaciones como síntesis de nanopartículas, esferodización y reacción de polvos, formación de películas y disociación de gases nocivos.
En comparación con la descarga por arco de corriente continua (CC), se puede obtener un mayor volumen de plasma
El flujo de gas también es mejor que el del plasma de corriente continua. Como el flujo es un orden de magnitud más lento, es posible calentar adecuadamente los materiales para inducir las reacciones deseadas.
Al no haber electrodos, no hay contaminación por materiales de electrodos, lo que permite un procesamiento de alta pureza.
Puede utilizarse una amplia gama de gases, incluidos gases oxidantes, reductores y corrosivos
Se pueden crear partículas finas, con una finura del orden nanométrico, un nivel superior a la capacidad de pulverización mecánica
La posibilidad de aprovechar las reacciones de especies químicas de alta energía, como átomos, iones, moléculas excitadas y radicales, abre la posibilidad de crear nuevas sustancias y materiales.
---