Microscopio FIB/SEM JIB-4700F

para análisisde pieEBSD

Los avances en el desarrollo de nuevos materiales con nanoestructuras complejas exigen cada vez más a los instrumentos FIB-SEM una resolución, precisión y rendimiento excepcionales. Como respuesta, JEOL ha desarrollado el sistema multihaz JIB-4700F para su uso en observaciones morfológicas y análisis elementales y cristalográficos de una gran variedad de muestras. Características El JIB-4700F cuenta con una lente objetiva cónica híbrida, modo GENTLEBEAM™ (GB) y un sistema detector en la lente para ofrecer una resolución garantizada de 1,6 nm a un bajo voltaje de aceleración de 1 kV. Gracias a un "cañón de electrones de emisión Schottky en la lente" que produce un haz de electrones con una corriente de sonda máxima de 300 nA, este instrumento de nuevo desarrollo permite realizar observaciones de alta resolución y análisis rápidos. Para la columna FIB, se emplea un haz de iones Ga de alta densidad de corriente de hasta 90nA de corriente de sonda máxima para el fresado rápido con iones y el procesamiento de muestras. Al mismo tiempo que se procesan secciones transversales a alta velocidad mediante FIB, pueden realizarse observaciones SEM de alta resolución y análisis rápidos utilizando espectroscopia de rayos X por dispersión de energía (EDS) y difracción de electrones retrodispersados (EBSD). Además, una de las características estándar de la JIB-4700F es una función de análisis tridimensional que captura automáticamente imágenes SEM a determinados intervalos en el procesamiento de secciones transversales. Observación SEM de alta resolución El objetivo cónico híbrido magnético/electrostático, el modo GB y el detector en la lente proporcionan una resolución garantizada de 1,6 nm a una tensión de aceleración baja de 1 kV.