Se trata de un espectrómetro de electrones Auger de alta especificación con un analizador hemisférico para proporcionar un análisis de alto rendimiento del estado de enlace químico en áreas de nano a micro, y un cañón de electrones de emisión de campo también utilizado para EPMA, ya que puede suministrar una corriente eléctrica grande y estable La etapa de muestras eucéntricas de alta precisión permite realizar el análisis de aislantes, antes imposible. Esto, en combinación con el cañón de iones de tipo flotante, ofrece la versatilidad de manejar cualquier espécimen, como metales y materiales aislantes, para obtener información de composición a e información química.
Características
- Analizador de alta sensibilidad・alta resolución
El empleo de analizadores con resolución de energía variable ha permitido realizar análisis del estado de enlace químico en modo de alta resolución, así como cartografiado de alta velocidad en modo de alta sensibilidad.
- Cañón de electrones de emisión de campo Schottky
Un cañón de electrones que consigue tanto la observación de imágenes con una resolución espacial de 3 nm, como el análisis del estado de enlace químico de alto rendimiento como resultado de la gran corriente eléctrica de hasta 200 nA. Esto es posible incorporando la tecnología de óptica de electrones que JEOL ha desarrollado durante muchos años con los cañones de electrones de emisión de campo Schottky empleados en SEM y EMPA.
- Platina eucéntrica para muestras
La adopción de una platina eucéntrica, una necesidad para un dispositivo de análisis con múltiples sistemas ópticos, proporciona una reproducibilidad del centro de altura altamente precisa. La inclinación libremente seleccionable de hasta 90° hace posible el difícil análisis de aislantes.
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