Equipo de sputtering vertical de gran superficie
・Gama efectiva de formación de película
300mm×100mm
configuración del equipo
Cámara de pulverización catódica RAM vertical
・Materia de la película
TCO (ITO, etc.) / Metales (Cu, etc.) / Óxidos metálicos (NiO, etc.) / C (DLC) / Otros
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