Máquina de control óptica CIRCL™

para obleaspara la industria electrónicade macrodefectos

La herramienta de clúster CIRCL™ tiene cuatro módulos, que cubren todas las superficies de la oblea y proporcionan una recopilación de datos paralela con un alto rendimiento para un control eficiente del proceso. Los módulos que componen el sistema CIRCL5 de última generación incluyen: inspección de defectos en la cara frontal de la oblea; inspección, perfil, metrología y revisión de defectos en el borde de la oblea; inspección y revisión de defectos en la cara posterior de la oblea; y revisión óptica y clasificación de defectos en la cara frontal. La recopilación de datos se controla mediante DirectedSampling™, un enfoque innovador que utiliza los resultados de una medición para activar otros tipos de mediciones dentro del clúster. La configuración modular de CIRCL5 ofrece flexibilidad para diferentes necesidades de control de procesos, ahorra espacio en la fábrica, reduce el tiempo de espera de las obleas y proporciona una ruta de actualización rentable para proteger la inversión de capital de la fábrica. Aplicaciones Supervisión de procesos, control de calidad saliente (OQC), supervisión de herramientas, supervisión de la cara posterior, supervisión del rendimiento de los bordes