Máquina de control óptica Surfscan® series

de superficiepara wafer no grabadoindustrial

El sistema de inspección de obleas sin patrón Surfscan® SP7XP identifica defectos y problemas de calidad superficial que afectan al rendimiento y la fiabilidad de los dispositivos lógicos y de memoria de vanguardia. Sirve de apoyo a la fabricación de circuitos integrados, OEM, materiales y sustratos mediante la cualificación y supervisión de herramientas, procesos y materiales, incluidos los utilizados para la litografía EUV. Con un láser DUV y modos de inspección optimizados, el Surfscan SP7XP ofrece la máxima sensibilidad para I+D de nodos avanzados y el rendimiento necesario para la fabricación de grandes volúmenes. Los modos de detección complementarios, incluidos el canal de contraste de fase (PCC) y la iluminación normal (NI), detectan tipos de defectos únicos en obleas desnudas, películas lisas y rugosas, y resistivos y pilas de litografía frágiles. La clasificación de defectos basada en imágenes (IBC), que utiliza revolucionarios algoritmos de aprendizaje automático, agiliza la detección de la causa raíz, mientras que el motor de clasificación Z7™ es compatible con aplicaciones exclusivas de NAND 3D y películas gruesas. Los sistemas de inspección de obleas sin patrón Surfscan® SP A2 y Surfscan® SP A3 identifican defectos y problemas de calidad de la superficie de la oblea que afectan al rendimiento y la fiabilidad de los chips fabricados para las aplicaciones de automoción, IoT, 5G, electrónica de consumo e industrial (militar, aeroespacial, médica). Estos sistemas de inspección apoyan la fabricación de dispositivos, OEM, materiales y sustratos mediante la calificación y supervisión de herramientas, procesos y materiales. Con un láser DUV y modos de inspección optimizados, los sistemas Surfscan SP Ax ofrecen la sensibilidad necesaria para apoyar las estrategias de reducción de defectos de las fábricas.